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激光光斑监测仪由以下部件组成：
1. 激光源：
产生用于测量光斑参数的激光束。
2. 光束整形器：
将激光束整形为所需形状和尺寸，如高斯光斑或矩形光斑。
3. 透镜：
控制光束的大小和发散角，将其聚焦到被测处。
4. 光束分束器：
将激光束分为两束，一束作为测量束，另一束作为参考束。
5. 测量传感器：
通常使用CCD相机或探测器阵列，记录测量光束的光斑参数。
6. 参考传感器：
记录参考光束的光斑参数，用于消除*误差。
7. 数据采集卡：
采集和数字化传感器信号，将光斑参数数据传输到计算机。
8. 分析软件：
对数据进行分析和处理，计算光斑位置、大小、能量分布等参数。
9. 光学平台：
提供光学元件的稳定安装，减少振动和误差。
10. 电源：
为激光源和其他部件供电。
